氦检-真空法
通过真空氦检法测试的测试项目即使是最小的泄漏也可以进行检查，并且可以从生产过程中去除坏零件。
真空室和其中产生的精细真空（~1x10-4bar）形成了一个非常中性的测量环境，这意味着即使是最小的泄漏也可以在非常高的测试压力下在尽可能短的时间内检测到，用于使用轨道气体和泄漏检测器进行泄漏测试。
在真空室的抽真空阶段，检查测试产品本身是否存在严重泄漏，这可以防止微量气体的可能污染以及由此产生的循环时间延长。
在实际泄漏测试过程中，分析真空室内逸出的微量气体的量，通常是氦气，但也包括形成气体和氩气，并以泄漏率输出。
根据测试规范，可以使用纯微量气体或空气/氮气和微量气体的混合物。这降低了气体成本，从而降低了每个部件的测试成本。
通常，通过使用定制的回收系统和压缩机单元，可以显著降低测试气体的成本。
没有其他测量方法将这种精度与最短的循环时间和在工业环境中使用的可能性相结合。例如，它适用于电池外壳、冷却液管路、冷却液压缩机或逆变器外壳等。
真空氦检法特别适用于检测部件上非常小的泄漏，有时在非常高的测试压力下。
试验介质：
氦气、氦气混合物（空气或氮气）、成型气体（5%H/95%N）
试验压力：
0.01-400 bar
可检测泄漏率：
体积和成分相关<1 x 10-9 mbar*l/sec（在工业环境中）。
方法：
用氦气体或氦气体混合物填充测试项目，并通过真空室内的泄漏检测器评估由于可能泄漏而逸出的气体。由于分析室中的真空环境，实现了非常高的精度和速度。
优点：
单个泄漏率的检测
不依赖于环境条件
不取决于试样的稳定性（小体积变化、振动等）
可以检测到最小的泄漏率
循环时间短，可通过试验台的设计适应工艺
工人独立评估
缺点：
所需惰性气体的处理
投资成本最高
夹具和试验台成本（与空气或累积试验相比，可以通过更快的循环时间和更高的机器可用性来补偿）
泄漏未定位
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